Das Messsystem arbeitet auf der Basis der energiedispersiven Röntgenfluoreszenzanalyse.
Ein externes Quant mit genügend Energie erzeugt eine Vakanz in der Elektronenhülle eines
Atoms.
Der Aufbau der Hülle ist elementspezifisch, das heißt die Energieniveaus der Hüllenelektronen
sind für jedes Element typisch. Die vorhandene Leerstelle wird durch ein Elektron besetzt, die
Energiedifferenz wird als Röntgenquant abgestrahlt.