Mit Hilfe der Methode "Röntgenfluoreszenz" lassen
sich noch weit mehr Aufgabenstellungen lösen,
als bisher gezeigt. Ein weiteres Beispiel soll das
Multielementtiefenprofil-Messsystem MPD 2000
demonstrieren.
Die zu untersuchenden Probe wird mittels eines
Schrägschliffes präpariert. Ein monochromatiesierter
Röntgenstrahl trifft diese Probe in einem Winkel, der
kleiner als der Totalreflexionswinkel ist. Dieser
Primärstrahl regt die Fluoreszenz an der Oberfläche
an. Die Fluoreszenzstrahlung wird durch einen
energiedispersiven Detektor für Röntgenstrahlung
empfangen. Durch eine Linearbewegung der Probe
kann der gesamte Schliff gescannt werden.
Bei bekannten Präparationswinkel ist eine Umrechnung der
Probenposition in eine Tiefenkoordinate möglich.
Somit kann nach Auswertung der Spektren eine
Elementverteilung über die Tiefe erfolgen. Durch eine
geeignete Präparationstechnik, z.B. Ionenstrahlschrägschliff,
kann eine Tiefenauflösung von wenigen nm erreicht werden.