Zurück

Modulares Inline-Röntgenfluoreszenz-Messsystem

XRF 940 M

Anwendung

Home

RFA-Inline-Analyse im Prozess

·         Analyse von Mehrfachschichten, Legierungsschichten sowie nm-Leicht-metallschichten

·         Anwendungsfelder: Brennstoffzellen, magnetische Schichten, Solarzellen, Barriere-Schichten, …

·         Messtakt: 3 s …

·         Reproduzierbarkeit: 3 % oder besser, in Abhängigkeit vom Messtakt

·         Substrattemperatur: Bis 500 °C

·         Feldbus-Interface für die Verbindung mit der Prozessteuerung der Beschichtungsanlage

·         Leicht verständliche Bedienoberfläche

·         Visualisierung der Messdaten mit verschiedenen Parametrierungen

·         Hohe Verfügbarkeit durch kontinuierliche interne Statuskontrolle

·         Messung und Positionierung im Vakuum möglich

·         Röntgenquelle mit optimierter Anregungseffizienz

·         Strahlenschutz genügt den Anforderungen des Vollschutzes gemäß Röntgenverordnung (RöV); keine Einrichtung eines Kontrollbereiches erforderlich

Download Produktinformation

(439 KB) als PDF

Weitere Anwendungsbeispiele ...

·       Messkopf im Vakuum, traversierbar.

·       Aufnahme von Schichtdickenprofilen quer zur Transportrichtung möglich, z.B. auf beschichteten Metallbändern.

·       Rechts: Cu-Schichtdicke auf einem 500 m langen Stahlband; die Beschichtung erfolgte aus zwei Verdampfertiegeln.

·       Messkopf mit Wasserkühlung und Schutzfenster gegen Kontaminationen, eingesetzt in eine Wand der Vakuum-Beschichtungskammer für Folien-Bänder

·       Rechts: Die Bedienoberfläche am Steuerrechner des Messsystems mit grafischer und numerischer Visualisierung der Messwerte